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ASML EUV光刻机被批“电老虎”:功耗100万瓦 是上代10倍

时间:2022-08-26 20:00:16 编辑:吴川宜 来源:中国日报网

当前,7nm以及更先进芯片制造有赖于ASML的EUV光刻机才能实现,最新款单价高达1.5亿美元,包含10万个部件和长达2公里的布线。

这么一台设备除了价格昂贵、零件繁多、造型庞大等,耗电能力同样不容小觑。

据媒体披露,当前ASML最新一代EUV光刻机的额定功耗是100万瓦,约是前几代设备的10倍。仅台积电就拥有超过80台EUV光刻机,粗算之下,开机一天的耗电量高达上百万度。

类似地,三星在韩国的6个半导体制造基地去年的总能耗占到集团的3%,未来更多EUV光刻机进厂部署后,这个数字还可能继续提高。

对于芯片制造行业的高耗能问题,业内认为,切换能源类型势在必行,也就是让可再生能源发电的比例提高。